2002年7月28日，济南，齐鲁微电子中心。
会议室里坐了二十几个人。
有穿著军便装的老专家，头髮全白了，胸前別著“长春光机所”的徽章。
有穿著西装的中年人，是上海微电子装备的总经理和总工程师。
有戴著厚眼镜的教授，是清华大学精密仪器系的。
还有几个年轻人，坐在后排，面前摆著笔记本电脑。
倪光南站在白板前，手里拿著一支马克笔。他清了清嗓子，会议室里安静了下来。
“今天这个会，是光刻机项目的启动会。在座的各位，有做光学的，有做机械的，有做控制的，有做软体的。我们这些人聚在一起，要做一件事——造一台中国人自己的光刻机。”
他转过身，在白板上写了几个字：90纳米，五年。
“目標:五年之內，做出90纳米工艺的光刻机原型机。能做样品，能跑通工艺，能验证技术路线，这是第一阶段。第二阶段，把原型机变成產品，变成生產线，变成產能。那可能需要另一个五年。但今天，我们先定第一个五年。”
他停了一下，看了一圈。
“任务分工是这样的。光学系统，由长春光机所牵头，包括光源、照明系统、投影物镜，这是光刻机的心臟，也是最难的部分。机械与控制系统，由上海微电子装备牵头，包括工件台、掩模台、对准系统、调平调焦系统，这是光刻机的骨架和肌肉。计算光刻软体，由清华大学牵头，包括光学邻近效应修正、光源掩模协同优化、计算光刻建模，这是光刻机的大脑。”
他翻了一页，是经费预算表。
“星火集团首期投入五个亿。光学系统两个亿，机械与控制系统两个亿，计算光刻软体一个亿。经费分三期拨付，每期对应阶段性成果。成果达標了，拨付下一期经费。不达標，暂停下一期经费拨付，进行整改。整改还不达標，换团队。”
会议室里安静了几秒。长春光机所的老专家开口了，声音不大，但很清楚。“倪总，五个亿，光学分两个亿。我干了四十年光学，没见过这么多钱。我代表光机所表態，这个任务，我们接了。五年，90纳米，做不出来，我这辈子不再碰光学。”
上海微电子装备的总经理接著说：“我们也接了。机械和控制，我们有基础。虽然跟asml差距很大，但不是零基础。五年，我们把工件台的定位精度做到10纳米以內。”
清华的教授推了推眼镜。“软体这块，我们团队有十几个人，一直在做计算光刻。经费够的话，我们可以扩到三十人。五年，足够做出一套可用的opc软体。”
倪光南点点头。他拿起笔，在白板上又写了一行字：智慧財產权归属——联盟共有，星火优先使用。
“专利的事，提前说清楚。所有在这个项目里產生的专利，归联盟共有。联盟里的单位，都可以使用。但星火集团作为出资方，拥有优先使用权。不是独家，是优先。別人要用，得星火同意。同意的条件，由星火定。”
没人反对。倪光南把笔放下，看著所有人。
“还有一件事。项目管理，要严格。每个季度检查进度，完不成的要问责。不是走过场，是真问责。谁拖了后腿，谁负责。我丑话说在前头，到时候別怪我不讲情面。”
长春光机所的老专家笑了笑。“倪总，你放心。我们这些人，一辈子跟精度打交道。差一微米都不行，何况是差一个季度。”
倪光南点点头，“那就这样。下个月，各团队提交详细方案。方案过了，签合同，拨款。今天就到这里。”
散会后，倪光南和凌云站在会议室门口。老专家们陆续离开，倪光南看著他们的背影，说：“这些人，是国內光学、机械、控制、软体领域最顶尖的人才。有的退休了，被返聘回来。有的还在岗位上，带著团队。把他们聚在一起，不容易。”
凌云说：“五年后，他们会为自己做的事骄傲的。”
倪光南没说话。他站在那里，看著走廊尽头，看了很久。然后他转过身，看著凌云。
“凌总，有件事我要提前跟你说。光刻机这个项目，五年出原型机，只是第一步。第二步是量產，那需要的钱是第一步的十倍。而且，就算我们做出来了，asml也不会坐视。他们会降价，会放开对中国市场的供应，会用一切手段打压我们。到时候，我们造出来的光刻机，可能一台都卖不出去。”
凌云看著他。“你怕吗？”
倪光南沉默了几秒。“怕。但我更怕的是，十年后，二十年后，我们的孙子辈要用天价，去买別人落后两代的淘汰光刻机，还要看別人的脸色。所以，怕也要做。”
凌云说：“那就做。asml降价，我们就买他们的，先用著。但我们自己的研发不能停。他们降价一次，我们就多买一次时间。时间够了，技术成熟了，成本降下来了，市场自然就有了。这不是一场速决战，是一场持久战。”
倪光南点点头。他转过身，看著走廊尽头那些老专家消失的方向。
“持久战。我打了大半辈子了，不差这五年。”
凌云没有说话，他站在倪光南旁边，也看著那个方向。
会议室里坐了二十几个人。
有穿著军便装的老专家，头髮全白了，胸前別著“长春光机所”的徽章。
有穿著西装的中年人，是上海微电子装备的总经理和总工程师。
有戴著厚眼镜的教授，是清华大学精密仪器系的。
还有几个年轻人，坐在后排，面前摆著笔记本电脑。
倪光南站在白板前，手里拿著一支马克笔。他清了清嗓子，会议室里安静了下来。
“今天这个会，是光刻机项目的启动会。在座的各位，有做光学的，有做机械的，有做控制的，有做软体的。我们这些人聚在一起，要做一件事——造一台中国人自己的光刻机。”
他转过身，在白板上写了几个字：90纳米，五年。
“目標:五年之內，做出90纳米工艺的光刻机原型机。能做样品，能跑通工艺，能验证技术路线，这是第一阶段。第二阶段，把原型机变成產品，变成生產线，变成產能。那可能需要另一个五年。但今天，我们先定第一个五年。”
他停了一下，看了一圈。
“任务分工是这样的。光学系统，由长春光机所牵头，包括光源、照明系统、投影物镜，这是光刻机的心臟，也是最难的部分。机械与控制系统，由上海微电子装备牵头，包括工件台、掩模台、对准系统、调平调焦系统，这是光刻机的骨架和肌肉。计算光刻软体，由清华大学牵头，包括光学邻近效应修正、光源掩模协同优化、计算光刻建模，这是光刻机的大脑。”
他翻了一页，是经费预算表。
“星火集团首期投入五个亿。光学系统两个亿，机械与控制系统两个亿，计算光刻软体一个亿。经费分三期拨付，每期对应阶段性成果。成果达標了，拨付下一期经费。不达標，暂停下一期经费拨付，进行整改。整改还不达標，换团队。”
会议室里安静了几秒。长春光机所的老专家开口了，声音不大，但很清楚。“倪总，五个亿，光学分两个亿。我干了四十年光学，没见过这么多钱。我代表光机所表態，这个任务，我们接了。五年，90纳米，做不出来，我这辈子不再碰光学。”
上海微电子装备的总经理接著说：“我们也接了。机械和控制，我们有基础。虽然跟asml差距很大，但不是零基础。五年，我们把工件台的定位精度做到10纳米以內。”
清华的教授推了推眼镜。“软体这块，我们团队有十几个人，一直在做计算光刻。经费够的话，我们可以扩到三十人。五年，足够做出一套可用的opc软体。”
倪光南点点头。他拿起笔，在白板上又写了一行字：智慧財產权归属——联盟共有，星火优先使用。
“专利的事，提前说清楚。所有在这个项目里產生的专利，归联盟共有。联盟里的单位，都可以使用。但星火集团作为出资方，拥有优先使用权。不是独家，是优先。別人要用，得星火同意。同意的条件，由星火定。”
没人反对。倪光南把笔放下，看著所有人。
“还有一件事。项目管理，要严格。每个季度检查进度，完不成的要问责。不是走过场，是真问责。谁拖了后腿，谁负责。我丑话说在前头，到时候別怪我不讲情面。”
长春光机所的老专家笑了笑。“倪总，你放心。我们这些人，一辈子跟精度打交道。差一微米都不行，何况是差一个季度。”
倪光南点点头，“那就这样。下个月，各团队提交详细方案。方案过了，签合同，拨款。今天就到这里。”
散会后，倪光南和凌云站在会议室门口。老专家们陆续离开，倪光南看著他们的背影，说：“这些人，是国內光学、机械、控制、软体领域最顶尖的人才。有的退休了，被返聘回来。有的还在岗位上，带著团队。把他们聚在一起，不容易。”
凌云说：“五年后，他们会为自己做的事骄傲的。”
倪光南没说话。他站在那里，看著走廊尽头，看了很久。然后他转过身，看著凌云。
“凌总，有件事我要提前跟你说。光刻机这个项目，五年出原型机，只是第一步。第二步是量產，那需要的钱是第一步的十倍。而且，就算我们做出来了，asml也不会坐视。他们会降价，会放开对中国市场的供应，会用一切手段打压我们。到时候，我们造出来的光刻机，可能一台都卖不出去。”
凌云看著他。“你怕吗？”
倪光南沉默了几秒。“怕。但我更怕的是，十年后，二十年后，我们的孙子辈要用天价，去买別人落后两代的淘汰光刻机，还要看別人的脸色。所以，怕也要做。”
凌云说：“那就做。asml降价，我们就买他们的，先用著。但我们自己的研发不能停。他们降价一次，我们就多买一次时间。时间够了，技术成熟了，成本降下来了，市场自然就有了。这不是一场速决战，是一场持久战。”
倪光南点点头。他转过身，看著走廊尽头那些老专家消失的方向。
“持久战。我打了大半辈子了，不差这五年。”
凌云没有说话，他站在倪光南旁边，也看著那个方向。